Conception de microsystèmes
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Objectifs
Le cours présentera les principes de la modélisation des microsystèmes. A partir des éléments de base des microsystèmes, le cours développera la modélisation des structures plus complexes, y compris des transducteurs électromécaniques. Des approches de la modélisation des microstructures complexes par des éléments d'ordre réduit seront exposées et les analogies électromécaniques et électroacoustiques seront étudiées en détail. Les principaux mécanismes de couplage électromécanique seront décrits, leurs modèles analogiques seront développés et appliqués aux exemples des microsystèmes réels. Parmi les mécanismes de transduction présentés il y aura les principes réciproques tels que électrostatiques, piézoélectriques, électromagnétiques et électrodynamiques et les principes non-réciproques tels que piézorésistifs et thermomécaniques.
Contenu Cours
1. Introduction
2. Systèmes mécaniques continus - comportement statique
3. Systèmes mécaniques continus - comportement dynamique
4. Systèmes discrets : analogies électromécaniques et électroacoustiques
5. Eléments acoustiques - amortissement
6. Modélisation des transducteurs électromécaniques : transduction électrostatique
7. Transduction piézoélectrique
8. Transduction électromécanique à champ magnétique
9. Transducteurs non-réciproques - transduction piézorésistive
Exercices
Exercices d'application des sujets du cours
Contrôles des connaissances Examen écrit d'une durée de 2 heures
Informations complémentaires
Bibliographie - TIMOSHENKO, S. P., GOODIER, J. N., Theory of Elasticity, Mc Graw-Hill, 1970.
- GERE, J.M., Mechanics of Materials, Brooks/Cole, Thomson Learning, 2001, 926 pp.
- SENTURIA, S. D., Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001, 689 pp.
- BAO, M. H., Micro Mechanical Transducers, Elsevier, 2000, 378 pp.
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mise à jour le 23 janvier 2019
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